|
27 мая 2019 г. в 10 час. в конф. зале ИНХС РАН состоится 471 заседание семинара “Получение, исследование и применение низкотемпературной плазмы” имени профессора Л.С. Полака
(119991, Москва, Ленинский проспект, 29, ИНХС РАН, тел.: 8(495) 6475927 доб. 322 (в тоновом режиме), e-mail: lebedev@ips.ac.ru), http://www.ips.ac.ru/plasma/
В программе семинара следующие доклады:
1. Двинин С.А., Синкевич О.А, Кодирзода З.А, Солихов Д.К. (Москва, Душанбе) “Особенности возбуждения электромагнитного поля в емкостном ВЧ разряде. Поверхностные и высшие моды поля и импеданс разряда” 2. Никонов А,Н., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И. (Москва) “Физические процессы в плазменном реакторе, предназначенном для магнетронного напыления функциональных покрытий с ионным стимулированием”
|